基本信息
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个人简介
梁荣庆,男,生于1954年8月,博士,教授,博士生导师。
近些年来在国家自然科学基金委,中科院,“863”的支持下,以及与一些研究机构、大学、企业界的协作中,主持和参加了多种等离子体发生装置的研究,以及等离子体对材料表面处理、新材料制备等应用研究工作。目前开展的课题有航天器的等离子体推进、等离子体在微电子器件制备与加工中的应用以及等离子体消毒等研究。
科研项目
作为项目主持或参加人,完成的科研项目有:高温等离子体软X射线诊断谱仪(获中科院科技进步三等奖);紧凑型ECR等离子体源的研制(中科院重点项目内容);透明金刚石膜制备(863项目);大体积表面波等离子体研究(自然科学基金);介质阻挡放电等离子体紫外光源(企业合作);脉冲等离子体推进器(自然科学基金);表面波等离子体(自然科学基金);射频等离子体材料改性等多个研究项目。作为指导老师已培养了7名博士、6名硕士。
近些年来在国家自然科学基金委,中科院,“863”的支持下,以及与一些研究机构、大学、企业界的协作中,主持和参加了多种等离子体发生装置的研究,以及等离子体对材料表面处理、新材料制备等应用研究工作。目前开展的课题有航天器的等离子体推进、等离子体在微电子器件制备与加工中的应用以及等离子体消毒等研究。
科研项目
作为项目主持或参加人,完成的科研项目有:高温等离子体软X射线诊断谱仪(获中科院科技进步三等奖);紧凑型ECR等离子体源的研制(中科院重点项目内容);透明金刚石膜制备(863项目);大体积表面波等离子体研究(自然科学基金);介质阻挡放电等离子体紫外光源(企业合作);脉冲等离子体推进器(自然科学基金);表面波等离子体(自然科学基金);射频等离子体材料改性等多个研究项目。作为指导老师已培养了7名博士、6名硕士。
研究兴趣
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2021 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS)pp.1-1, (2021)
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