基本信息
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个人简介
从事直拉硅单晶生长和半导体厂房建设的相关工作,单晶生长方面偏重于重掺杂硅单晶和大直径硅单晶的研究和制备。作为技术骨干,参加我国第一根直径6英寸、8英寸和12英寸硅单晶的研制工作。作为技术骨干,参加了半导体中心建设、908工程、909工程、8英寸硅单晶(片)产业化示范工程、12英寸硅单晶片“十五”和“十一五”攻关项目等方面的工作。
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Journal of Nanoparticle Researchno. 1 (2012): 682
Journal of Nanoparticle Researchno. 12 (2011): 7095-7098
Rare Metalsno. 3 (2011): 270-273
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