基本信息
浏览量:102
职业迁徙
个人简介
中国半导体行业协会常务理事、支撑业分会理事长,中国有色金属学会半导体材料学术委员会主任,中国电子材料行业协会副理事长,中国材料研究学会青年委员会理事。曾任“863”微电子配套材料国家重大专项总体专家组组长。
多年主要从事半导体材料的研究与开发工作,在大直径硅单晶及抛光片的研制以及加工过程中的缺陷控制方面有深入的研究,承担了我国第一根直径6英寸、8英寸、12英寸及18英寸硅单晶的研制工作。牵头组织和参与了国家863重大专项、国家“908”工程、“909”工程、国际科技合作研究计划、国家科技重大专项和省部级课题20余项,取得了重要研究成果。“十一五”期间负责了300mm大直径硅材料的国家重大科技任务。
多年主要从事半导体材料的研究与开发工作,在大直径硅单晶及抛光片的研制以及加工过程中的缺陷控制方面有深入的研究,承担了我国第一根直径6英寸、8英寸、12英寸及18英寸硅单晶的研制工作。牵头组织和参与了国家863重大专项、国家“908”工程、“909”工程、国际科技合作研究计划、国家科技重大专项和省部级课题20余项,取得了重要研究成果。“十一五”期间负责了300mm大直径硅材料的国家重大科技任务。
研究兴趣
论文共 52 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
加载更多
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn