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EUV optics at ZEISS: status, outlook, and future
Joachim Kalden,Jens Timo Neumann, Dirk Juergens,Paul Gräupner, Wolfgang Seitz, Peter Kuerz
Optical and EUV Nanolithography XXXVII (2024)
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The next step in Moore’s law: high-NA EUV introduction at the customer
Jara G. Garcia-Santaclara, Rudy Peeters, Rob van Ballegoij, Sjoerd Lok,Jan van Schoot,Paul Gräupner,Peter Kuerz, Jörg Mallmann, Greet Storms, Peter Vanoppen
Optical and EUV Nanolithography XXXVII (2024)
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High-Na Euv Lithography Optics Becomes Reality
Lars Ischmeier,Paul Graupner,Peter Kurz,Winfried Kaiser,Jan Van Schoot, Jorg Mallmann, Joost De Pee, Judon Stoeldra
EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY XI (2020)
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