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Nanopatterning with UV Optical Lithography
M. Rothschild, T. M. Bloomstein, N. Efremow Jr.,T. H. Fedynyshyn,M. Fritze, I. Pottebaum,M. Switkes
MRS BULLETIN（2011）
引用38浏览0引用
38
0
High-throughput hybrid optical maskless lithography: all-optical 32-nm node imaging
M Fritze,Brian Tyrrell,Theodore H Fedynyshyn, M Rothschild, Peter Brooker
Proceedings of SPIE (2005): 1058-1068
引用12浏览0引用
12
0
High-Speed Schottky-Barrier pMOSFET With GHz
M Fritze,C L Chen, S D Calawa,D R W Yost, B D Wheeler,P W Wyatt,Craig L Keast, John P Snyder, John M Larson
mag（2004）
引用26浏览0引用
26
0
Exploiting design regularity for optical RET lithography
M Fritze,B Tyrrell
SOLID STATE TECHNOLOGYno. 8.0 (2004): 26-28
引用0浏览0引用
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