基本信息
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职业迁徙
个人简介
1989年毕业于北京大学,在北大微电子所工艺实验室工作,先后从事半导体工艺测试研究,双极器件和电路的工艺研制,MEMS结构刻蚀工艺研究,负责调研引进并管理实验室多台核心设备,先后参与多项院内承担的重大科研项目和实验室改建扩建工作。
主要研究领域
微纳米制造工艺研究
主要研究领域
微纳米制造工艺研究
研究兴趣
论文共 7 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
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主题
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合作者
合作机构
mag(2001)
引用23浏览0引用
23
0
Tien Tzu Hsueh Pao/Acta Electronica Sinicano. 5 (1996): 87-91
引用0浏览0WOSSCOPUS引用
0
0
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
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