基本信息
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职业迁徙
个人简介
社会任职:
北京市科委“精机工程”(微电子装备、智能可穿戴领域)特聘责任专家
研究方向:
新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备
北京市科委“精机工程”(微电子装备、智能可穿戴领域)特聘责任专家
研究方向:
新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备
研究兴趣
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时间
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主题
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合作机构
NANOSCALEno. 4 (2024): 1577-1599
ELECTRONICSno. 14 (2023): 3059-3059
引用1浏览0引用
1
0
Guangxue xuebaono. 15 (2021): 1523002-1523002
引用1浏览0引用
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