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R Gerli,L Caponi,A Tincani,R Scorza,M G Sabbadini,M G Danieli,V De Angelis,M Cesarotti,M Piccirilli,R Quartesan, P Moretti, C Cantoni,
DTIP '03: Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMSpp.121-126, (2003)
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