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Apparatus for setting a coating and apparatus for coating
Kazuhiro Takeshita, Shinji Nagashima,Makoto Muramatsu, Yoji Mizutani,Kazutoshi Yano,Kyoshige Katayama
mag（2007）
引用23浏览0引用
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Barometric pressure compensation to control photoresist film thickness
Vandana Vishnu,Mai Randall,Carole J Pillette,Kyoshige Katayama, Kazuhisa Omura, Ryoichi Uemura, Hiroshi Tomita, Ryoji Ando, Kunie Ogata, Hiromitsu Maejima, Anthony Didonato, Jim Nicholson
Proceedings of SPIE (2004): 958-966
引用0浏览0引用
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Spin coating apparatus including aging unit and solvent replacement unit
Kazuhiro Takeshita, Shinji Nagashima,Makoto Muramatsu, Yoji Mizutani,Kazutoshi Yano,Kyoshige Katayama
mag（2001）
引用39浏览0引用
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Gas treatment apparatus
Kazuhiro Takeshita, Shinji Nagashima, Yoji Mizutani,Kyoshige Katayama
mag（2000）
引用61浏览0引用
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Method for coating a substrate and apparatus for coating and setting the coating
Kazuhiro Takeshita, Shinji Nagashima,Makoto Muramatsu, Yoji Mizutani, Kazutoshi Yano,Kyoshige Katayama
mag（1999）
引用23浏览0引用
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