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DETERMINATION OF GAIN FOR EDDY CURRENT SENSOR
Kun Xu,Shihhaur Shen, Boguslaw A Swedek,Ingemar Carlsson, Doyle E Bennett,Wenchiang Tu, Hassan G Iravani, Tzuyu Liu
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
Metrology for GST film thickness and phase
Kun Xu,Feng Q Liu,Yuchun Wang, Abraham Ravid,Wenchiang Tu
mag（2014）
引用25浏览0引用
25
0
IN-SITU MONITORING SYSTEM WITH MONITORING OF ELONGATED REGION
Kun Xu,Shihhaur Shen, Tzuyu Liu,Ingemar Carlsson, Hassan G Iravani, Boguslaw A Swedek,Wenchiang Tu, Doyle E Bennett
mag（2014）
引用23浏览0引用
23
0
Threshold voltage tuning for 10nm and beyond CMOS integration
Naomi Yoshida,Keping Han, Matthew Beach,Xinliang Lu,Raymond Hung,Hao Chen,Wei Tang,Yu Lei,Jing Zhou,Miao Jin,Kun Xu, Anup Phatak,
SOLID STATE TECHNOLOGYno. 7.0 (2014): 23-25
引用0浏览0引用
0
0
Feedback Control Using Detection Of Clearance And Adjustment For Uniform Topography
Kun Xu,Ingemar Carlsson, Tzuyu Liu,Shihhaur Shen, Boguslaw A Swedek,Wenchiang Tu, Lakshmanan Karuppiah
mag（2013）
引用24浏览0引用
24
0
EDDY CURRENT MONITORING OF METAL RESIDUE OR METAL PILLARS
Hassan G Iravani,Kun Xu, Boguslaw A Swedek,Ingemar Carlsson,Shihhaur Shen,Wenchiang Tu, David Maxwell Gage, James C Wang
mag（2012）
引用24浏览0引用
24
0
CMP Process Control for Advanced CMOS Device Integration
Sidney P Huey, Balaji Chandrasekaran, Doyle E Bennett,Stan Tsai,Kun Xu,Jun Qian, Siva Dhandapani, Jeffrey Drue David,Bogdan Swedek, Lakshmanan Karuppiah
ECS Transactions（2012）
引用13浏览0引用
13
0
EDDY CURRENT MONITORING OF METAL FEATURES
Hassan G Iravani,Kun Xu, Boguslaw A Swedek,Ingemar Carlsson,Shihhaur Shen,Wenchiang Tu, David Maxwell Gage
mag（2012）
引用24浏览0引用
24
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