基本信息
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个人简介
研究工作主要利用透射电镜,结合傅立叶变换红外光谱仪以及扫描红外显微镜研究晶体硅材料中点缺陷、轻元素杂质以及热处理制度对氧沉淀、层错以及位错等微缺陷生成的影响,以及在这个过程中金属杂质的扩散、沉淀特性对材料电学性能的影响。研究目前广泛应用于薄膜太阳能电池制备的多晶硅和非晶硅薄膜的工艺参数与其电学性能之间的关系,利用PECVD系统,在基体表面沉积具有特定掺杂浓度和电学性能的薄膜材料,并研究薄膜太阳能电池的工艺特性。
从事半导体材料、无机材料的制备及其微结构方面研究,在材料合成、利用透射电镜表征上积累了丰富的 知识和经验。近年来在材料研究领域以第一作者及署名发表学术论文30余篇,获得国家专利2项。作为项目负责人主持国家自然科学基金1项(2012年12月结题)、留学回国人员科研启动基金1项(2007年4月– 2009年4月、已完成)、福建省新世纪优秀人才支持计划1项(2006年9月 – 2009年9月、已完成)。主要参与过的项目为:低成本多晶硅提纯及其太阳电池研发与产业化,福建省重大专项(2007HZ0005-2, 2007.1—2009.12);超大规模集成电路(ULSI)用硅材料中杂质和缺陷的基础研究,国家自然科学基金重点项目(50032010, 2001.1 – 2004.1)。
从事半导体材料、无机材料的制备及其微结构方面研究,在材料合成、利用透射电镜表征上积累了丰富的 知识和经验。近年来在材料研究领域以第一作者及署名发表学术论文30余篇,获得国家专利2项。作为项目负责人主持国家自然科学基金1项(2012年12月结题)、留学回国人员科研启动基金1项(2007年4月– 2009年4月、已完成)、福建省新世纪优秀人才支持计划1项(2006年9月 – 2009年9月、已完成)。主要参与过的项目为:低成本多晶硅提纯及其太阳电池研发与产业化,福建省重大专项(2007HZ0005-2, 2007.1—2009.12);超大规模集成电路(ULSI)用硅材料中杂质和缺陷的基础研究,国家自然科学基金重点项目(50032010, 2001.1 – 2004.1)。
研究兴趣
论文共 146 篇作者统计合作学者相似作者
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合作机构
Journal of experimental botany (2023)
引用0浏览0WOS引用
0
0
ChemSusChemno. 11 (2023)
JOURNAL OF EXPERIMENTAL BOTANYno. 19 (2023): 6119-6130
Ecotoxicology and environmental safety (2023): 114802-114802
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