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DISK-BRUSH CLEANER MODULE WITH FLUID JET
Hui Chen, Allen L Dambra,Senhou Ko,Yufei Chen, Adrian Blank, Mario D Silvetti, Gerald Alonzo, Lakshmanan Karuppiah
mag（2011）
引用27浏览0引用
27
0
Brush box cleaner module with force control
Hui Chen, Joseph Yudovsky, Allen L Dambra
mag（2011）
引用23浏览0引用
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LID FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE PROCESSING APPARATUS AND METHODS FOR USING THE SAME
Joseph Yudovsky,Hui Chen, Gary Ettinger
mag（2009）
引用27浏览0引用
27
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MULTIPLE SUBSTRATE VAPOR DRYING SYSTEMS AND METHODS
Donald J K Olgado, Simon Yavelberg, Edwin Velaquez,Hui Chen, Sheshraj L Tulshibagwale,Ho Seon Shin
mag（2008）
引用26浏览0引用
26
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HORIZONTAL MEGASONIC MODULE FOR CLEANING SUBSTRATES
Donald J K Olgado, Sheshraj L Tulshibagwale, Thomas B Brezoczky, John S Lewis,Ho Seon Shin,Hui Chen, Roy C Nangoy
mag（2008）
引用24浏览0引用
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0
Methods and apparatus for improving edge cleaning of a substrate
Hui Chen, Annedouce M P Coulin,Ho Seon Shin, Donald J K Olgado
mag（2007）
引用23浏览0引用
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