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Optimization of a TEOS Addition on Plasma Resistance of YAG Ceramics
Cheng-Cai Zhao, Eun-Bi Kim,Young-Jo Park, Govindasamy Logesh,Mi-Ju Kim,Jae-Wook Lee,Ho Jin Ma,Ha-Neul Kim,Jae-Woong Ko,Seog-Young Yoon
INTERNATIONAL JOURNAL OF APPLIED CERAMIC TECHNOLOGYno. 5 (2024): 3200-3208
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