基本信息
浏览量:8
职业迁徙
个人简介
从事过非晶硅半导体材料与太阳能电池器件技术和半导体致冷技术的研究与开发工作,曾获得中国科学院科学技术成果奖(非晶硅中的亚稳缺陷及界面问题研究)和陕西省教育委员会科学技术进步奖(非晶碳化硅的电致发光特性及大面积发光二极管),1998年回国后获得中国科学院留学回国择优支持项目的资助,开始从事第三代宽禁带、高温、大功率碳化硅(SiC)半导体外延材料工程与器件技术研究工作,已有13年。
在国内较早开展了SiC外延生长技术及器件制造研究工作。“十五”、“十一五”期间,承担了多项国家、部委研究课题,其中包括国家重点科技攻关项目、国家高新技术“863”项目、国家重点基础研究“973”项目、总装科研课题、中国科学院预先研究课题、中国科学院创新项目课题、国家自然科学基金、以及其它有关SiC材料与器件的科研课题,取得了一系列代表国内最高水平、接近国际先进水平的研究成果。
利用自有技术,先后研制出高温SiC热壁CVD外延生长设备、高温退火设备,填补了国内空白,获得国家发明专利三项,实用新型专利三项。近期,在SiC功率器件制造的关键技术——SiC快速CVD外延生长方面,已完成相关快速CVD外延技术所需要的设备研制工作,并在生长技术方面取得关键性突破。利用自主研制的热壁CVD生长系统,获得了高质量的SiC外延材料,并相继研制出阻塞电压大于1000V的Ti/4H-SiC Schottky二极管器件和阻塞电压为300-500V的PiN二极管器件、SiC UV太阳光盲探测器、SiC MESFET器件以及3C-SiC谐振器(250kHz)和滤波器等。
奖励信息
(1) 中国科学院科学技术成果奖,二等奖,院级级,1993
(2) 陕西省教育委员会科学技术进步奖,三等奖,省级,1989
在国内较早开展了SiC外延生长技术及器件制造研究工作。“十五”、“十一五”期间,承担了多项国家、部委研究课题,其中包括国家重点科技攻关项目、国家高新技术“863”项目、国家重点基础研究“973”项目、总装科研课题、中国科学院预先研究课题、中国科学院创新项目课题、国家自然科学基金、以及其它有关SiC材料与器件的科研课题,取得了一系列代表国内最高水平、接近国际先进水平的研究成果。
利用自有技术,先后研制出高温SiC热壁CVD外延生长设备、高温退火设备,填补了国内空白,获得国家发明专利三项,实用新型专利三项。近期,在SiC功率器件制造的关键技术——SiC快速CVD外延生长方面,已完成相关快速CVD外延技术所需要的设备研制工作,并在生长技术方面取得关键性突破。利用自主研制的热壁CVD生长系统,获得了高质量的SiC外延材料,并相继研制出阻塞电压大于1000V的Ti/4H-SiC Schottky二极管器件和阻塞电压为300-500V的PiN二极管器件、SiC UV太阳光盲探测器、SiC MESFET器件以及3C-SiC谐振器(250kHz)和滤波器等。
奖励信息
(1) 中国科学院科学技术成果奖,二等奖,院级级,1993
(2) 陕西省教育委员会科学技术进步奖,三等奖,省级,1989
研究兴趣
论文共 78 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH (2023)
Micro and Nanostructures (2023): 207657-207657
引用0浏览0引用
0
0
Journal of Crystal Growth (2023): 127048
Guoguo Yan,Xingfang Liu,Wanshun Zhao,Lei Wang,Zhanwei Shen,Zhen Fu, Quan Zhang, Chao Xiao, Qiang Yin,Guosheng Sun,Yiping Zeng
2023 20th China International Forum on Solid State Lighting & 2023 9th International Forum on Wide Bandgap Semiconductors (SSLCHINA: IFWS)pp.10-13, (2023)
Journal of Crystal Growth (2023): 127008-127008
2021 IEEE Workshop on Wide Bandgap Power Devices and Applications in Asia (WiPDA Asia)pp.74-78, (2021)
加载更多
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn