基本信息
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职业迁徙
个人简介
研究课题主要围绕:大直径单晶性能研究、工艺研究、热场设计、缺陷控制;大尺寸硅片的损伤控制、精密加工、洁净技术技术研究。
长期从事半导体硅材料及工程化技术研究。先后参与和承担了国家“八五”、“九五”、“十五”、“908”、“909”和“国家示范工程”等国家重大攻关课题,研制成功了国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸和16英寸硅单晶。参与成功建设具有自主知识产权的国内第一条6、8英寸硅单晶抛光片生产线。
建立了我国第一条300mm硅材料生产线,开发出全球领先的450mm硅单晶生长技术。主持国家科技重大专项“200mm硅片产品技术开发与产业化能力提升”项目,率先实现200mm硅片在国内的产业化。建立我国首个300mm硅材料设备研制平台,推进了半导体硅材料用装备(300mm单晶炉等)和原辅材料(石英坩埚、化学试剂等)的国产化应用。
荣获十余项国家及部级科研成果奖励。授权专利30余项,其中参与发明创造的“一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置”获2008年第十届中国专利金奖。发表论文30余篇。2009年评选为有色金属行业劳动模范。
长期从事半导体硅材料及工程化技术研究。先后参与和承担了国家“八五”、“九五”、“十五”、“908”、“909”和“国家示范工程”等国家重大攻关课题,研制成功了国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸和16英寸硅单晶。参与成功建设具有自主知识产权的国内第一条6、8英寸硅单晶抛光片生产线。
建立了我国第一条300mm硅材料生产线,开发出全球领先的450mm硅单晶生长技术。主持国家科技重大专项“200mm硅片产品技术开发与产业化能力提升”项目,率先实现200mm硅片在国内的产业化。建立我国首个300mm硅材料设备研制平台,推进了半导体硅材料用装备(300mm单晶炉等)和原辅材料(石英坩埚、化学试剂等)的国产化应用。
荣获十余项国家及部级科研成果奖励。授权专利30余项,其中参与发明创造的“一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置”获2008年第十届中国专利金奖。发表论文30余篇。2009年评选为有色金属行业劳动模范。
研究兴趣
论文共 12 篇作者统计合作学者相似作者
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Chinese Journal of Engineering Scienceno. 1 (2023): 68-68
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