长期从事MEMS/NEMS技术创新和应用研究，先后承担并完成了二十多项国家和省部级科研课题，包括国家863计划项目、自然科学基金课题，973子课题，预研，教育部重大培育和上海市科委发展基金课题等。
先后在国内外专业期刊和学术会议上发表学术论文200多篇，其中SCI收录论文150篇，在MEMS领域主流期刊Journal of Micromechanics and Microengineering上发表研究论文23篇，是近十年中国大陆学者在该刊论文发表数最多的个人。
先后申请专利一百多项，获得专利授权六十多项。
先后培养研究生七十多位，其中，博士研究生20名，硕士研究生54名。
2004年获 得上海市育才奖，2007年获上海市技术发明一等奖，2008年获得国家技术发明二等奖，2016年获得上海市技术发明一等奖。