基本信息
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职业迁徙
个人简介
研究方向
柔性电子制造;光机电一体化设备;激光微纳制造
桂成群教授长期从事高端光刻设备和技术的研究,开发和项目领导工作。是一位国际化,跨学科的高端创新型人才。先后在欧洲的ASML公司,美国的AZORES CORP公司,荷兰 SIMAX 公司,ADVANCE TREND 公司等工作15年。领导或参与了MEMS光刻机,TFH薄膜磁头用光刻机,G4/5代平板显示器光刻机,柔性电子光刻机,LED PSS 光刻机的研发和市场化项目。项目总经费累计超过一亿美元。所领导的研发团队从数十人到一百多人。在组织高端设备的研发方面积累了一套国际化的经验。其中,主持或参与的MEMS光刻机,TFH薄膜磁头制造用光刻机,G4.5代光刻机, 等光刻设备研发成功并推向市场。LED PSS(Patterned Sapphire Substrate )光刻机正在研发和市场化的过程中。所主持的光刻机研发项目,取得了200多项专利,其中,申请人本人作为发明人或联合发明人的国际专利或专利申请,近100项次(其中授权40余项美国专利)。代表性的专利发明原理或技术有大面积无掩模板光刻技术原理;用于大面积光刻的光学透镜的设计;用于MEMS光刻机的双面对准技术(3DALIGN);用于TFH薄膜磁头光刻机的图像拼接技术。在ASML工作10年期间发表了论文近十篇;公司内部技术报告200余篇。同时代表ASML,领导并参与荷兰应用科学研究院TNO和比利时IMEC联合创办的开放式创新中心HOLST CENTER的跨学科,跨业界的柔性电子制造项目的研发。取得了数项专利发明和论文。在加入ASML之前,申请人有12年在国内外大学和研究所从事科研和教学的经验。1986年起,在清华大学精密仪器系从事教学和科研工作8年,期间参与了国家七五和八五的科技攻关项目数项,并担任子课题负责人。项目有大型火力发电机组故障诊断系统的研发,新型传感器的研发。获得了国家,教育部和北京市的科技奖励数项。1993年起在荷兰特文特大学MESA+微纳米系统研究所从事研究工作。4年期间在国际期刊上发表论文30余篇;国际会议报告10余次,国际会议大会特邀报告一次。发表博士论文一本。
柔性电子制造;光机电一体化设备;激光微纳制造
桂成群教授长期从事高端光刻设备和技术的研究,开发和项目领导工作。是一位国际化,跨学科的高端创新型人才。先后在欧洲的ASML公司,美国的AZORES CORP公司,荷兰 SIMAX 公司,ADVANCE TREND 公司等工作15年。领导或参与了MEMS光刻机,TFH薄膜磁头用光刻机,G4/5代平板显示器光刻机,柔性电子光刻机,LED PSS 光刻机的研发和市场化项目。项目总经费累计超过一亿美元。所领导的研发团队从数十人到一百多人。在组织高端设备的研发方面积累了一套国际化的经验。其中,主持或参与的MEMS光刻机,TFH薄膜磁头制造用光刻机,G4.5代光刻机, 等光刻设备研发成功并推向市场。LED PSS(Patterned Sapphire Substrate )光刻机正在研发和市场化的过程中。所主持的光刻机研发项目,取得了200多项专利,其中,申请人本人作为发明人或联合发明人的国际专利或专利申请,近100项次(其中授权40余项美国专利)。代表性的专利发明原理或技术有大面积无掩模板光刻技术原理;用于大面积光刻的光学透镜的设计;用于MEMS光刻机的双面对准技术(3DALIGN);用于TFH薄膜磁头光刻机的图像拼接技术。在ASML工作10年期间发表了论文近十篇;公司内部技术报告200余篇。同时代表ASML,领导并参与荷兰应用科学研究院TNO和比利时IMEC联合创办的开放式创新中心HOLST CENTER的跨学科,跨业界的柔性电子制造项目的研发。取得了数项专利发明和论文。在加入ASML之前,申请人有12年在国内外大学和研究所从事科研和教学的经验。1986年起,在清华大学精密仪器系从事教学和科研工作8年,期间参与了国家七五和八五的科技攻关项目数项,并担任子课题负责人。项目有大型火力发电机组故障诊断系统的研发,新型传感器的研发。获得了国家,教育部和北京市的科技奖励数项。1993年起在荷兰特文特大学MESA+微纳米系统研究所从事研究工作。4年期间在国际期刊上发表论文30余篇;国际会议报告10余次,国际会议大会特邀报告一次。发表博士论文一本。
研究兴趣
论文共 57 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING (2024): 107898-107898
PHYSICS OF FLUIDSno. 1 (2024)
Optics and Lasers in Engineering (2023): 107698
Micromachinesno. 6 (2023)
PHOTONICS AND NANOSTRUCTURES-FUNDAMENTALS AND APPLICATIONS (2023): 101181-101181
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合作机构
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