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METHOD OF FORMING POLISHING SHEET
Benjamin A Bonner, Gopalakrishna B Prabhu, Erik S Rondum, Gregory E Menk,Anand N Iyer, Peter Mcreynolds,Garlen C Leung
mag（2014）
引用24浏览0引用
24
0
Chemical mechanical polisher with heater and method
Robert A Marks, Christopher Heunggyun Lee,Garlen C Leung, Gregory E Menk,Jie Diao, Erik S Rondum
mag（2013）
引用26浏览0引用
26
0
REAL-TIME MONITORING OF RETAINING RING THICKNESS AND LIFETIME
Peter Mcreynolds, Eric S Rondum,Garlen C Leung, Adam H Zhong, Gregory E Menk, Gopalakrishna B Prabhu,Thomas H Osterheld
mag（2012）
引用25浏览0引用
25
0
Polishing article with integrated window stripe
Gregory E Menk, Peter Mcreynolds, Erik S Rondum,Anand N Iyer, Gopalakrishna B Prabhu,Garlen C Leung
mag（2009）
引用31浏览0引用
31
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SELECTIVE CHEMISTRY FOR FIXED ABRASIVE CMP
Gregory E Menk, Robert L Jackson,Garlen C Leung, Gopalakrishna B Prabhu, Peter Mcreynolds,Anand N Iyer
mag（2008）
引用25浏览0引用
25
0
Polishing article with window stripe
Gregory E Menk, Peter Mcreynolds, Erik S Rondum, Gopalakrishna B Prabhu,Anand N Iyer,Garlen C Leung
mag（2007）
引用26浏览0引用
26
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