基本信息
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职业迁徙
个人简介
主要科研项目
1996年至今,承担NSFC、973课题、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科技计划中与MEMS工艺相关的项目,累计经费超过3000万元。
主要获奖成果
“硅基MEMS工艺技术及应用研究”获2003北京市科技进步一等奖,2006年国家技术发明二等奖;IEC(国际电工委员会)微机电领域第一个中国提案标准的负责人,获2017年IEC 1906奖(IEC标准杰出贡献奖,当年有16个中国人获奖)
主要学术任职
微纳电子学研究院常务副院长、国家微机电标委会副主任委员、IEC 47F(微机电标委会)工作组专家、微电子学科发展委员会成员
1996年至今,承担NSFC、973课题、863、电子预研、重大专项课题、重大科技计划等国家级科技计划中与MEMS工艺相关的项目,累计经费超过3000万元。
主要获奖成果
“硅基MEMS工艺技术及应用研究”获2003北京市科技进步一等奖,2006年国家技术发明二等奖;IEC(国际电工委员会)微机电领域第一个中国提案标准的负责人,获2017年IEC 1906奖(IEC标准杰出贡献奖,当年有16个中国人获奖)
主要学术任职
微纳电子学研究院常务副院长、国家微机电标委会副主任委员、IEC 47F(微机电标委会)工作组专家、微电子学科发展委员会成员
研究兴趣
论文共 183 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
2023 IEEE 36TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, MEMSpp.885-888, (2023)
引用1浏览0引用
1
0
IEEE Sensors Journalno. 7 (2023): 6649-6659
2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)pp.885-888, (2023)
引用1浏览0EIWOS引用
1
0
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturingno. 2 (2023): 260-267
MICROMACHINESno. 4 (2022): 569
2022 IEEE 35TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS CONFERENCE (MEMS)pp.573-576, (2022)
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