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Sanghyun Oh,J M Hergenrother,T Nigam,D Monroe,F P Klemens, A Kornblit, W M Mansfield,M R Baker, D L Barr,F H Baumann,Kevin J Bolan, T Boone,
SILICON MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY, VOLS 1 AND 2pp.1232-1240, (1998)
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A Agarwal,D J Eaglesham,H J Gossmann,Lourdes Pelaz,S B Herner,D C Jacobson,T E Haynes, Y Erokhin, Robert B Simonton
Ct Liu,Fh Baumann, Hh Vuong,Cs Pai,Dj Eaglesham, R Liu,Cp Chang,Kp Cheung,Ji Colonell,Wyc Lai, Sj Hillenius
1997 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY: DIGEST OF TECHNICAL PAPERSpp.91-92, (1997)
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