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Graphene-All-Around Cobalt Interconnect with a Back-End-of-Line Compatible Process
Chi-Yuan Kuo, Jia-Heng Zhu, Yun-Ping Chiu,I-Chih Ni,Mei-Hsin Chen,Yuh-Renn Wu,Chih- Wu
NANO LETTERSno. 6 (2024): 2102-2109
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