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Directed Self-Assembly (DSA) For Contact Applications
Ming-Hui Weng,Tsung-Han Ko, Chih-Jie Lee, Han-Ping Shen,Chieh-Han Wu, Ken-Hsien Hsieh, Yuan-Chien Huang, Cheng-Han Wu,Chung-Ju Lee,Ching-Yu Chang, Chin-Hsiang Lin
ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXV（2018）
引用1浏览0引用
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Spacers with Rectangular Profile and Methods of Forming the Same
Yusheng Chang,Chungju Lee, Tieni Bao
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
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Self-Aligned Patterning Process
Tsungmin Huang,Chungju Lee
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
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Spacer-Damage-Free Etching
Tsungmin Huang,Chungju Lee, Yunghsu Wu
mag（2015）
引用22浏览0引用
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Integrated circuit interconnects and methods of making same
Chenghsiung Tsai,Chungju Lee, Tsungjung Tsai, Hsianghuan Lee, Ming Han Lee
mag（2014）
引用27浏览0引用
27
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Method of semiconducotr integrated circuit fabrication
Hsinchieh Yao,Chenghsiung Tsai,Chungju Lee, Tieni Bao
mag（2014）
引用23浏览0引用
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