基本信息
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职业迁徙
个人简介
研究领域
极紫外/软x射线多层膜,极紫外光学
科研项目
( 1 ) 中国科学院青年创新促进会-喻波, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12
( 2 ) 极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-12
( 3 ) 大口径大陡度曲面基底极紫外/软X射线多层膜膜厚横向梯度控制, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
( 4 ) 极紫外多层膜技术研究, 参与, 国家任务, 2009-01--2018-11
极紫外/软x射线多层膜,极紫外光学
科研项目
( 1 ) 中国科学院青年创新促进会-喻波, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12
( 2 ) 极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-12
( 3 ) 大口径大陡度曲面基底极紫外/软X射线多层膜膜厚横向梯度控制, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
( 4 ) 极紫外多层膜技术研究, 参与, 国家任务, 2009-01--2018-11
研究兴趣
论文共 12 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGY: OPTICAL TEST, MEASUREMENT TECHNOLOGY, AND EQUIPMENT (2016)
8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: SUBNANOMETER ACCURACY MEASUREMENT FOR SYNCHROTRON OPTICS AND X-RAY OPTICS (2016)
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合作机构
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