lin zhi shan ye(林志 杉野)关注立即认领分享关注立即认领分享基本信息浏览量:0职业迁徙个人简介暂无内容研究兴趣论文共 4 篇作者统计合作学者相似作者按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选时间引用量主题期刊级别合作者合作机构塩素ガスエッチングを用いた微細MOS Elevated Source/Drainプロセス : 高選択,ダメージフリーのバッチ処理Siエッチング(研究会推薦論文,半導体材料・デバイス)林志 杉野, Unsoon Kim,Kyunghoon Min,Ning Cheng, W U Huaqiang,Chungho Lee, Fred Cheung,Hiroyuki Kinoshita, 雅彦 上西,寿 加藤,新吾 多田,隆司 伊藤mag(2008)引用23浏览0引用230塩素ガスエッチングを用いた微細 MOS Elevated Source/Drain プロセス : 高選択、ダメージフリーのバッチ処理Siエッチング林志 杉野, Unsoon Kim,Kyunghoon Min,Ning Cheng,Huaqiang Wu,Chungho Lee, Fred Cheung, Hiroyuki Kinoshita, 雅彦 上西,寿 加藤, 新吾 多田,隆司 伊藤siam international conference on data mining(2006)引用23浏览0引用230ドライ洗浄技術 : 半導体製造( 生活の基本,そして製造・生産に必須の技術 : 洗う技術)隆司 伊藤,林志 杉野,健治 石川mag(2004)引用23浏览0引用230UV/Cl_2ドライクリーニングメカニズム : 表面Fe汚染除去におけるSiCl_4の効果林志 杉野,芳子 奥井,真弓 滋野,聡 大久保,金剛 高崎,隆司 伊藤siam international conference on data mining(1997)引用23浏览0引用230作者统计合作学者合作机构D-Core合作者学生导师暂无相似学者,你可以通过学者研究领域进行搜索筛选数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn