基本信息
浏览量:212
职业迁徙
个人简介
主要从事纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线测量技术与装备、光刻成像理论与计算光刻、新型椭偏仪研制与光电材料表征测量等方面的研究工作,致力于光学工程、精密机械、仪器科学、集成电路、光电材料等学科的交叉融合,强调基础研究与产业应用并重。先后主持国家自然科学基金(7项,包括国基金杰青项目、重大仪器项目和重点项目)、科技部首批国家重大科学仪器设备开发专项、国家科技重大专项等国家级科研项目30余项。获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明金奖等科技奖励,发表学术论文200余篇,获授权国际国内发明专利100余件,国内外重要学术会议特邀报告50余次。研制的仪器、软件、测量装备等多项成果已实现成果转化和产业化,在中芯国际、长江存储、华为、京东方、华星光电等微电子、光电子龙头企业获得批量应用。
研究兴趣
论文共 325 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
APPLIED SURFACE SCIENCE (2024): 158748-158748
Frontiers Comput. Sci.no. 1 (2024): 181201-11
OPTICS EXPRESSno. 5 (2024): 8415-8424
Optics Express (2024)
OPTICS AND LASER TECHNOLOGY (2024): 110510
OPTICS EXPRESSno. 3 (2024): 3735-3750
APL MATERIALSno. 4 (2024): 041126-041126-10
IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENTno. 99 (2024): 1-12
Light, science & applicationsno. 1 (2024): 9-9
加载更多
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn