基本信息
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职业迁徙
个人简介
研究领域
MEMS加工技术及其相关器件,特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器
研究概况
从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括:
(1)MEMS器件与关键技术;
(2)硅基MEMS工艺规则设计与加工技术;
先后获得全国博士后基金、教育部博士点基金、测试重点实验室基金、航天支撑基金、973基金等8项基金项目资助。作为主要成员,参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目,已发表论文20余篇,被SCI、EI收录10余篇;申请中国发明专利14项,已经授权8项。
MEMS加工技术及其相关器件,特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器
研究概况
从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括:
(1)MEMS器件与关键技术;
(2)硅基MEMS工艺规则设计与加工技术;
先后获得全国博士后基金、教育部博士点基金、测试重点实验室基金、航天支撑基金、973基金等8项基金项目资助。作为主要成员,参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目,已发表论文20余篇,被SCI、EI收录10余篇;申请中国发明专利14项,已经授权8项。
研究兴趣
论文共 63 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Shengru Zhou,Chao Liang,Ziqi Mei,Rongbo Xie, Zhenci Sun,Ji Li,Wenqiang Zhang,Yong Ruan,Xiaoguang Zhao
MICROMACHINESno. 2 (2024): 219
MICROELECTRONICS JOURNAL (2024): 106089
IEEE Trans. Instrum. Meas. (2023): 1-8
CHEMOSENSORSno. 5 (2023): 285-285
引用1浏览0引用
1
0
Micromachinesno. 11 (2023): 2070-2070
Yong Ruan, Yang Chen,Yu Wu,Meng Shi, Yan Du,Zhiqiang Song,Yiyang Chen,Helei Dong,Congchun Zhang,Jiao Teng
CHEMOSENSORSno. 4 (2023): 225-225
引用1浏览0引用
1
0
卢宇杰,阮勇
Journal of Beijing Information Science & Technology Universityno. 3 (2022)
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